Contacting / Probe Stations - manuell
Sollen einzelne Dies oder Schaltungen fixiert und kontaktiert werden, ist oft ein einfacher manueller Prober ausreichend. Für unterschiedliche Anwendungen führen wir dazu verschiedene Standardmodelle. Natürlich kann auch jederzeit ein spezieller Prober für Ihre individuellen Messaufgaben konfiguriert werde. Benötigen Sie ein höher auflösendes Mikroskop? Eine Kamera? Einen Hotchuck?
Manuelle Probe Station von Signatone: S-1160 (DC) und WL-1160 (HF)
Auf der Plattform der Serie 1160 basieren zwei Varianten für kostengünstige, kompakte und sehr universell einsatzbare Probe Stations: die S-1160 optimiert für DC-Anwendungen und die WL-1160 für HF-Anwendungen. Die Hauptanwendung dient zum Test folgender Prüfobjekte:
- Halbleiterbausteine: Wafer mit 4“, 6“ oder 8“ Größe und vereinzelte Halbleiterchips
- Module und Leiterplatten mit Hilfe eines Probenhalters
Typischerweise werden die folgenden Testaufgaben damit zuverlässig durchgeführt:
- S-1160: DC Parameter Analyse (koaxiale und triaxiale I-V und C-V Messungen)
- WL-1160: HF Messungen (mit GS, SG, GSG oder GSSG Probes) und Mixed Signal Messungen mit Nadelkarten
Die Bedienung erfolgt mit folgenden Bewegungseinheiten:
Der Chuck oder Probenhalter wird mit einem Kreuztisch in x- und y-Richtung bewegt. Dazu dienen präzise Drehknöpfe, die einerseits eine rasche Bewegung der Probe über größere Distanzen, andererseits aber auch eine Stellgenauigkeit von ca. 5 µm ermöglichen. Zum bequemen Einlegen des Wafers wird der Chuck in Richtung der Vorderseite der Probe Station herausgefahren. Die Höhe der Platen kann mit zwei verschiedenen Vorrichtungen eingestellt werden: der lineare Platenlift für ein Anheben der Platen bis zu 9,5 mm, die Feineinstellung der Platen mit einem Drehknopf. Die Höhe der Platen in Bezug auf den Chuck wird mit der Feineinstellung eingestellt. Damit wird eine Genauigkeit von etwa 5 µm erreicht. Zum Wechseln des Prüflings kann der lineare Platen-Lift verwendet werden. Dazu bringt man die Prüfspitzen zunächst mit dem Bewegungshebel aus dem Gefahrenbereich nach oben, stellt dann den Chuck auf die gewünschte xy-Position, und senkt schließlich die Prüfspitzen zur erneuten Kontaktierung vorsichtig herab.
| Spezifikationen |
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| Breite | Ca. 685 mm |
| Tiefe | Ca. 558 mm |
| Höhe | Im Bereich 495-560 mm (je nach Mikroskop) |
| Gewicht | Ca. 45-60 kg (je nach Ausstattung) |
| Manipulatoren |
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| Optionen | |
| PSDB-1160 | Lichtdichte Dunkelkammer mit elektrischer Schirmung |
| A-6XG | Triaxialer Chuck für 6“ Wafer und Messungen von Strömen <30 fA |
| A-8XG | Triaxialer Chuck für 8“ Wafer und Messungen von Strömen <30 fA |
| FS-160 | Feiner xy-Stelltisch für 12,5 mm maximale Bewegung des Chuck mit 1 µm Auflösung |
| TRX Hot Chuck | Verschiedene Thermochucks können nachgerüstet werden |
| Microscope Boom-Mount |
Mikroskop-Halterung mit Haltepfosten (Boom-Mount) - wird typischerweise verwendet, |
| Microscope xy-Stage | Mikroskop-Halterung mit präzisen, manuellen x-, y- und z-Stelltischen mit 50mm oder 150mm Fahrweg in x- und y-Richtung |
| Heavy-Duty Microscope XY-Stage | Mikroskop-Halterung für die Montage schwerer Mikroskope mit 150mm Stellweg für x- und y-Richtung |
| Wafer Chuck | Chuck mit einem Durchmesser von 4", 6" oder 8" mit Vakuumringen; Oberflächenmetallisierung des Chucks: Nickel oder Gold |
| PCB-Holder | Halteplatte mit Fixierungsgewinden zur Befestigung von Modulen oder Leiterplatten anstelle des Chucks |
Beispiel für eine S-1160 Probe Station
Diese Probe Station wird zum Test von DC-Strömen und Spannungen mit vier kostengünstigen Manipulatoren des Typs S-725 mit Pivot-Head betrieben. Mit dem Pivot-Head können die Prüfnadeln in vertikaler und horizontaler Richtung geschwenkt werden. Das SMZ171 Mikroskop ist mit dem 50 mm xy-Microscope Stage befestigt. Mit diesen Manipulatoren ist die Kontaktierung von minimalen Strukturgrößen bis zu 10 µm möglich. Sollen kleinere Strukturen kontaktiert werden, empfiehlt sich die Verwendung von Manipulatoren des Typs SP-100 oder SP-150, die mit einem Magnetfuß einfach auf der Platten befestigt werden.
Beispiel für eine WL-1160 Probe Station
Für die Anwendung mit kostenintensiven HF-Probes ist eine sehr hohe mechanische Genauigkeit und Stabilität erforderlich, die mit der WL-1160 und Manipulatoren des Typs S-M50 oder S-M90 erreicht wird. In den meisten Fällen müssen phasenstabile HF-Kabel verwendet werden, die starr und dickwandig sind und die eine erhebliche Querbelastung auf die Prüfspitzen ausüben können. Daher sind neben stabilen Manipulatoren auch sehr starre und massiv ausgeführte Probe-Arme notwendig, an denen die HF-Probes befestigt werden. Im Bild wird der Aufbau für die 2-Tor-S-Parametermessung an einem HF-Baustein mithilfe von zwei S-M50 Manipulatoren gezeigt. Bis zu vier solcher Manipulatoren können auf der WL-1160 verwendet werden, um im µm-Bereich präzise zu kontaktieren. Auch hier wurde das SMZ171 Mikroskop mit dem 50 mm xy-Microscope Stage verwendet, welches in diesem Fall mit einer Videokamera zur Arbeit mit einem Bildschirm ausgestattet ist.
bsw manuelle Probe Station MaPS 1
Mit der von der bsw AG entwickelten manuellen Probe Station MaPS 1 ist eine sehr günstige Einsteigerlösung zur Kontaktierung und zum Proben von Leiterplatten verfügbar. Die Probe Station bietet viel Platz für Ihre Leiterplatte und unterstützt horizontales und vertikales Kontaktieren. Mit den beliebig auf der Grundplatte anzubringenden Leiterplatten-Haltern fixieren Sie Ihre Leiterplatte. Ebenso frei sind Sie in der Positionierung der Probe-Halter und des Mikroskops. Schnell und einfach ist alles vorbereitet und Sie haben mehr Zeit für Ihre Messungen wie S-Parameter, Signal Integrity, Power Integrity etc.
Die MaPS 1 ist mit viel nützlichen Optionen erhältlich. Neben der Probehalterung für alle gängigen HF-Probes sind Halterungen für DC-Probes oder auch für Oszilloskop-Probes erhältlich.
Präzises Messen in Sekundenbruchteilen zu absolut günstigem Preis. Mehr Informationen finden Sie hier in unserem Datenblatt.
