HF-Positioner

Manipulatoren für HF-Probes

Für präzises, zuverlässiges und stabiles Kontaktieren mit empfindlichen und kostspieligen HF-Probes stehen von unserem Partner Signatone Inc. die bewährten Manipulatoren der Baureihe S-M40 und S-M90 zur Verfügung.

 

S-M40 Manipulatoren Richtungen OST, WEST, NORD, SÜD
S-M90 Manipulator mit Montagehalter für ein 1mm-VNA-Modul

 

Merkmale S-M40 S-M90-OST, S-M90-WEST
Bedienung

Für OST-, WEST-, NORD- und SÜD-Richtung verwendbar.

Mikrometer-Stellschrauben nach hinten geführt, um möglichst viel Platz auf den Platen der Probe-Station zu sparen.

Es gibt zwei spiegelsymmetrische Varianten: S-M90-OST und S-M90-WEST. Die Mikrometerschraube für die Y-Achse ragt zum Anwender, was die Bedienung erleichtert.

Vorsicht: bei Konfigurationen mit mehr als zwei Positionern ragen Y-Mikrometer-Stellschrauben nach hinten.

Befestigung Schaltbarer Magnetfuß oder Metallfuß zum Anschrauben Schaltbarer Magnetfuß oder Metallfuß zum Anschrauben
Probe-Arme Verfügbar für die Richtungen:
OST, WEST, NORD, SÜD
Verfügbar für die Richtungen:
OST, WEST, NORD, SÜD
Planarisierung Am Probe-Arm angebracht Am Probe-Arm angebracht

Ausführungsbeispiele

 

Signatone S-M40 Manipulator

Befestigungsvariante:

Probe-Arm:

XYZ Stellweg:

XYZ Auflösung:

Magnetfuß mit Hebelschalter

Für NORD-Richtung

25 mm

Ca. 2 µm mit 40 Turns/Inch
(0,64 Umdrehungen/mm)

Mit Mikrometerschraube zur Planarisierung der Probe-Spitzen zu den Wafer-Pads

Signatone S-M90-OST Manipulator

Befestigungsvariante:

Probe-Arm:

XYZ Stellweg:

XYZ Auflösung:

Magnetfuß mit Hebelschalter

Für OST-Richtung

25 mm

Ca. 2 µm mit 40 Turns/Inch
(0,64 Umdrehungen/mm)

Mit Mikrometerschraube zur Planarisierung

Manipulatoren für Tuner oder mmWellen-Module

Für die Kontaktierung von Probes, die mit einer Hohlleiterverbindung starr mit einem Tuner oder einem mmWellen-Modul verbunden sind, empfehlen wir die Manipulatoren der S-LAP90 Serie von Signatone Inc.. In diesem Fall wird der Probe mit dem starr verbundenen Modul bewegt.

 

Merkmale

S-LAP90-OST, S-LAP90-WEST

Bedienung

Es gibt zwei spiegelsymmetrische Varianten: S-LAP90-OST und S-LAP90-WEST.

Sonderkonstruktionen mit bis zu vier S-LAP-Manipulatoren auf einer Platen können angefragt werden.

(Voraussetzung: Probe-Station muss groß genug sein und Gesamtlast tragen können).

XYZ-Bewegungsachsen

Mit 25mm Stellweg und einer Auflösung von einigen Mikrometern.

Planarisierung

Standardmäßig vorhanden für die Richtungen OST und WEST.

Ausgeführt mit Mikrometerschraube.

Befestigung

Metallfuß zum Anschrauben auf der Platen der Probe-Station.
Die WL170-THz Probe-Station von Signatone erlaubt zwei Montagearten:

  • Standard Konfiguration: „Chuck unter Platen“
  • Spezialkonfiguration: „Chuck über Platen“

Je nach Montageart werden unterschiedliche Metallfüße verwendet.

Probe-Arme

Standarmäßig verfügbar für die Richtungen OST und WEST

WL170-THz Probe Station mit S-LAP90 Manipulatoren für Tuner
S-LAP90 Manipulator mit mmWellen-Modul